電子廠潔凈室|無(wú)塵室施工工程選擇潔凈室施工方案的系統(tǒng)化決策框架及實(shí)施要點(diǎn)，結(jié)合精密電子行業(yè)規(guī)范與典型案例分析：

一、電子廠潔凈室|無(wú)塵室施工工程明確核心工藝參數(shù)

?潔凈等級(jí)匹配?

按生產(chǎn)工藝需求確定ISO等級(jí)：如半導(dǎo)體光刻需千級(jí)（ISO 5），SMT貼片適用萬(wàn)級(jí)（ISO 6），普通電子組裝可放寬至十萬(wàn)級(jí)（ISO 7）。

通過(guò)換氣次數(shù)控制顆粒物濃度，例如千級(jí)潔凈室換氣次數(shù)≥300次/小時(shí)，高效過(guò)濾器需覆蓋≥80%頂棚面積。

?環(huán)境控制指標(biāo)?

溫濕度設(shè)定：半導(dǎo)體車間溫度22±2℃、濕度45±5%，PCB車間可放寬至24±1℃、濕度50±10%。

壓差梯度：潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)壓差≥5Pa，不同等級(jí)區(qū)之間≥3Pa。

二、關(guān)鍵系統(tǒng)設(shè)計(jì)選擇

?空氣凈化系統(tǒng)?

采用三級(jí)過(guò)濾（初效G4+中效F8+高效H13）組合，半導(dǎo)體車間需增加化學(xué)過(guò)濾器處理酸性氣體。

氣流組織優(yōu)先下送上回垂直層流，FFU覆蓋率≥60%時(shí)，潔凈度穩(wěn)定性提升30%。

?防靜電與耐腐蝕處理?

地面采用防靜電環(huán)氧自流平（電阻值1×10^6~1×10^9Ω）或PVC卷材，墻面使用抗靜電彩鋼板（表面電阻≤1×10^9Ω）。

酸堿廢氣排放管道采用316L不銹鋼，焊接氦檢漏率≤1×10^-9 Pa·m3/s。

三、電子廠潔凈室|無(wú)塵室施工工程材料與施工工藝優(yōu)化

?類別??優(yōu)選方案??技術(shù)指標(biāo)?

圍護(hù)結(jié)構(gòu) 50mm防火巖棉彩鋼板 防火1級(jí)，隔音≥30dB

門窗 雙層中空玻璃+氣密膠條 漏風(fēng)率≤0.1m3/(h·m2)

管道安裝 鍍鋅鋼板風(fēng)管+PEF阻燃保溫 風(fēng)管漏風(fēng)率≤1%

地面施工 環(huán)氧自流平分層澆筑 平整度≤2mm/2m

四、電子廠潔凈室|無(wú)塵室施工工程施工過(guò)程控制要點(diǎn)

?模塊化施工流程?

分32個(gè)單元同步施工，彩鋼板安裝誤差≤±3mm，吊頂板拼接縫≤2mm。

預(yù)埋管線完成后再進(jìn)行凈化裝修，減少交叉污染風(fēng)險(xiǎn)。

?潔凈管控措施?

設(shè)置預(yù)清潔區(qū)，彩鋼板入場(chǎng)前用異丙醇擦拭，施工人員穿戴連體防塵服。

動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)懸浮粒子數(shù)，施工期間顆粒物濃度不超過(guò)設(shè)計(jì)值的30%。

五、成本與能效平衡策略

?設(shè)備選型優(yōu)化?

空調(diào)系統(tǒng)采用變頻控制+熱回收裝置，綜合能效比（EER）提升至4.3，節(jié)能22%。

照明系統(tǒng)選用LED平板燈，功率密度≤8W/㎡，壽命≥5萬(wàn)小時(shí)。